Pierwsze wzmianki o cmentarzu sięgają końca XVI wieku, kiedy w 1584 roku wzniesiono na jego terenie kapliczkę zwaną Męką Pańską. W okresach zarazy zaczęto chować tam ofiary epidemii, a w 1591 roku w pobliżu kapliczki zbudowano drewniany kościół wotywny, w którym składano modlitwy o ustanie chorób. Po ustaniu zarazy cmentarz stał się miejscem pochówku ubogich mieszkańców Żywca i osób niższego stanu, tracąc tę funkcję z początkiem XIX wieku. Pod koniec XVIII wieku prowadząca do niego droga została utwardzona, co ułatwiało dostęp do cmentarza.
W 1885 roku stary drewniany kościół zastąpiono murowanym, a w 1905 roku poszerzono teren cmentarza i otoczono go ogrodzeniem. Został zamknięty około 1912 roku, choć ostatni